二手 KDF 603 #293827896 待售
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ID: 293827896
晶圓大小: 4"
Sputtering system, 4"
D65B Pump
(8) Cryopump
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor.
KDF 603是用於半導體和電子器件制造的薄膜沈積工藝中最先進的濺射設備。這套先進的系統融合了尖端技術,在基板上實現了精密均勻的薄膜塗層,滿足了行業的嚴格要求。603濺射裝置的核心是其高真空室,為薄膜沈積提供了必要的超清潔環境。腔室配有多種目標材料,典型的由鋁、鈦或銅等金屬制成,濺射在基板上,形成薄膜層。這些目標被等離子體放電產生的高能離子轟擊,導致原子噴射並沈積在基板表面。KDF 603機器的一個關鍵特點是它能夠依次沈積不同材料的多層,允許創建具有特定特性的復雜薄膜結構。這種能力對於制造先進的半導體器件至關重要,在這種器件中,不同的層具有各種功能,如導電、絕緣或作為防止擴散的屏障。該工具配有精密的控制軟件,調節濺射功率、氣體流速和基板溫度等參數,以實現對沈積過程的精確控制。此控制級別可確保膠片質量的可重復性和一致性,這對於大批量制造應用至關重要。除了沈積能力外,603濺射資產還提供先進的監控和診斷工具,以優化工藝性能。對薄膜厚度、成分、均勻性等關鍵參數的實時監控,讓操作員可以即時調整工藝條件,保證優質薄膜的生產。此外,該模型還具有易於維護和維修的特點,例如易於訪問目標、屏蔽和其他組件,以便快速更換或調整。這使停機時間最小化,並最大限度地提高了生產率,使KDF 603成為工業規模薄膜沈積的高效工具。603濺射設備也是高度可定制的,有附加功能的選項,如基板加熱、基板偏置或沈積復合薄膜的反應性濺射。這種多功能性使得它適用於微電子、光學、太陽能等行業的廣泛應用。總體而言,KDF 603濺射系統以其先進的功能、精確的控制和堅固的設計,代表了薄膜沈積的前沿解決方案。隨著半導體技術的不斷進步,像603這樣的高性能薄膜沈積系統需求有望增長,帶動行業創新進步。
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