二手 KDF / EMITECH / EMCORE K350G #9075090 待售
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ID: 9075090
Power supply
Sputter coating / Glow discharge controller
Plasma voltage: 0 to 1000 V variable DC at 100 mA
Electrode polarity: +DC or -DC with aluminum electrode, 60 mm diameter
Glow discharge lid
Vacuum chamber glass: 165 mm diameter x 125 mm H
HT Vacuum interlock
Needle valve bleed control
Instrument case: 230 mm W x 230 mm D x 175 mm H
Power supply:
230 V, 50 Hz, 6 A max
115 V, 60 Hz, 12 A max.
KDF/EMITECH/EMCORE K350G濺射設備是一種用途極為廣泛的工具,用於用薄層材料塗覆表面。KDF K350G采用七室真空系統設計,能夠以最佳速率產生極一致、均勻的沈積物。該部隊使用高效可靠的磁控管槍電源,以及先進的石英原位監測機。腔室的設計非常適合制造高達五英寸(12.7厘米)的厚而均勻的塗層,並包括鎢、的、鎳鉻合金等材料。EMCORE K350G包括模塊化源固定器,可同時容納圓形和矩形目標。該工具確保有效的物料轉移到基板上,具有低顆粒侵蝕、最小化排放和低功耗的特性。濺射源也表現出很強的可重復性,這對於均勻沈積是必不可少的。EMITECH K350G的設計目的是保持一個潔凈的濺射環境,安裝了三個用於氫退火、凈化和惰性氣體的氣體出口。其較大的工作面積為具有較長工作長度的塗層提供了必要的空間,並為所有八英寸(20.3厘米)方形的基板提供了標準基板支架。該資產與一個三菱機器人手臂和一個盒式裝載機相連接,該裝載機設計用於更好的工藝集成。K350G是一種強大可靠的濺射工具,用於生成一致、均勻的塗層。它的七室設計、高效電源、精確的現場監控模型以及用戶友好的操作員控制,使這款設備成為先進濺射應用的理想解決方案。該系統的模塊化源固定器、氣體出口、工作區域和機器人臂使其在實現厚薄材料的優質塗層方面特別有效。
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