二手 KDF / EMITECH / EMCORE K350G #9240958 待售

KDF/EMITECH/EMCORE K350G是一種適用於大面積基板上薄膜沈積的高質量濺射工具。該設備由一個電磁激活的陰極組成，該陰極用氙氣離子轟擊基板，使薄膜的沈積具有均勻的覆蓋範圍。該系統具有決定其薄膜沈積效果的幾個先進特點。首先，KDF K350G單元配備了基於放置在目標表面下方的超導電磁體的高功率有源磁場。這使得離子轟擊能夠以高精度進行，導致薄膜沈積特性均勻。其次,EMCORE K350G機設計方便維護.它需要最小的維護或調整,並且設計用於最大的正常運行時間。第三，EMITECH K350G工具提供多種配置的嵌入式調理烤箱的靈活性，使不同階段的烘烤和退火適合各種薄膜沈積應用。嵌入式調節爐使資產能夠比傳統的濺射工具實現更高的增長率，同時提供對薄膜性能的控制。第四，K350G模型采用磁控管濺射法，使薄膜沈積的均勻性優於其他方法。這一特征有利於沈積高度均勻的薄膜，從而使薄膜更加光滑和一致。最後，KDF/EMITECH/EMCORE K350G設備配備了全方位的流程監控系統、流程自動化能力、計算機控制和環境控制。這些系統確保了可靠、高效和高質量的薄膜沈積，消除了潛在的工藝變異性。總之，KDF K350G是一種適用於大面積基板薄膜沈積的高質量、經濟高效的濺射系統。由於采用了嵌入式調理爐和磁控管濺射方法，以及優良的環境和工藝控制系統，它為薄膜沈積提供了優越的均勻性。