二手 KOREA VACUUM TECH VTC PVD-1300 #9173159 待售

ID: 9173159
Sputtering system Chamber fitted (3) LEYBOLD TMP1600 Turbo molecular pumps (1) EDWARDS Roots pump (1) EDWARDS Rotary pump (4) Advanced converters 20K MP 20 (1) ADdvanced converters 18K Bias power supply (2) Mass flow controllers (1) Set rotary cage (1) Magnet power supply PLC with computer Control panel for all controls.
KOREA VACUUM TECH VTC PVD-1300是一種用於薄膜塗層和高級研究應用的濺射沈積設備。該系統利用高功率的二極管式濺射源沈積薄膜,將產生具有非凡均勻性和高沈積速率的塗層。設備的Source to Wafer Distance (SWD)是可調的,允許目標到基板距離的各種配置,以獲得最佳的薄膜沈積條件。該PVD-1300在電子源上還有一個低能電子轟炸機(LEBS),使其能夠傳遞具有精確控制能級的高功率電子束。該工具幾乎適用於任何氣體,並提供控制資產內氣體壓力的能力。該PVD-1300除了具有濺射沈積能力外,還配備了先進的溫度控制系統。其加熱和冷卻源可調10至300 °C,可保持基板溫度穩定均勻。消費者還可以利用PVD-1300的自動壓力控制模型在腔室內保持恒定的運行壓力。KOREA VACUUM TECH PVD-1300具有直觀的控制設備,可訪問濺射過程的設置和參數。它能夠儲存多達10個預設的操作條件,協助科學家快速建立系統供即時使用。該PVD-1300還提供了一些監測系統,例如自動關機功能,以確保操作過程中的安全並防止損壞設備或部件。該PVD-1300是一個強大和可靠的濺射機設計,允許薄膜的沈積以最高的精度。其可調的SWD和溫度控制系統提供了最佳的薄膜沈積條件,而其自動壓力控制工具則提供了保持恒定運行壓力的便利。該PVD-1300還有預設的操作條件和安全監控系統,以確保安全運行。KOREA VACUUM TECH PVD-1300具有強大的特性和精確的控制能力,是薄膜塗層和先進研究應用的絕佳選擇。
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