二手 KRAUSS MAFFEI Triathlon #9165555 待售

KRAUSS MAFFEI鐵人三項是由KRAUSS MAFFEI開發的用於薄膜沈積的濺射設備。它被設計用來將一系列材料沈積在不同表面的基板上，如玻璃、金屬、塑料和陶瓷。沈積系統由三個磁驅動源組成，每個磁驅動源配有兩個目標，可用於共濺射。這樣可以在一個周期內沈積多達三種材料，從而能夠沈積復雜的多組分結構。此外，可以方便地交換目標，以便沈積各種材料，包括元素金屬、合金、氧化物和氮化物。鐵人三項單元允許單步和多步濺射，這取決於所需的材料和結構。濺射源包含一個裝有水平濺射源的工藝室和一個用於將濺射材料引導至基板的靜電六極體。該室加壓以保持最佳的濺射氣流，並以均勻的沈積速率控制溫度。主源裝有旋轉磁控管，而另外兩個源可能用於射頻或直流偏置。濺射速率用可調壓力調節器控制，以達到均勻的沈積速率和厚度。機器能夠對進程進行濺射蝕刻，以修復和修改現有的層或設備。這使得它可以用於化學機械平面化（CMP）、氧化、退火和植入等多種應用。該刀具配有自動更換沈積參數的6軌工藝重復參數和用於遠程操作的步進電機。KRAUSS MAFFEI鐵人三項是一種可靠高效的濺射資產，可精確控制沈積參數和材料。這允許創建復雜的多組分基板和獨特的表面結構，這些結構適用於各種應用，包括微電子、光學塗層、薄膜光伏和薄膜晶體管。它體積小巧，成本低，也使得它適合各種實驗室環境。