二手 KURT J. LESKER CMS-18 #9183484 待售

KURT J. LESKER CMS-18是一種用於將薄膜沈積到基板上的綜合性濺射設備。它是一個通用的底物分子束外延（MBE）平臺，允許研究人員為各種應用進行研發。憑借高溫、高溫沈積、雙極化電子轟擊、原位診斷等先進能力，CMS-18是研究和工業生產的理想選擇。KURT J. LESKER CMS-18由幾個模塊組成，包括一個測量師級、一個四口袋源架、一個高溫石英基板船、一個低壓等離子源（LPPS）、一個氣流控制系統和一個光機室。測量師階段允許四口袋源持有者與驅動軸一起移動到任意位置，以實現基板和其他部件的高度精確定位。四袋源支架允許將四種不同的目標材料沈積到同一基材區域。這大大提高了生產能力，可以減少生產時間。高溫石英基板船是專門為維持高溫熱過程而設計的。它可以長時間承受高達1200 °C的溫度。此外，船上還裝有石英或熱解石墨（pg）基板支架，為MBE工藝提供了良好的高溫控制環境。LPPS用於基板的表面預處理和活化。這種裝置可以使均勻的離子通量到達目標表面，並有助於提供全局表面活化，以改善膜的均勻性。除了LPPS之外，氣流控制單元進一步優化了工藝參數。用於引入和維持光機室內的氣體壓力。測量氣體壓力以精確平衡和控制濺射速率和沈積過程。為了最大限度地提高CMS-18機器的性能，光機室設有可實時觀察和分析薄膜沈積的視窗。然後利用結果對沈積參數進行相應調整，以獲得最佳性能。KURT J. LESKER CMS-18是一個堅固可靠的工具，提供適合研究和工業制造應用的全自動沈積過程。它提供了所有必要的組件，以創建高質量的薄膜精確所需的應用。它提供高溫操作、提高沈積速率、低能耗、高精度。由於其精確的控制和靈活的配置，CMS-18是需要薄膜沈積的應用的絕佳選擇。