二手 KURT J. LESKER CMS-24 #9235982 待售
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ID: 9235982
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Includes:
Control cabinet
TEK-TEMPERATURE INSTRUMENTS TKO-100 Chiller
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Manuals
Schematics and CD.
KURT J. LESKER CMS-24是一種強大的高速濺射設備，設計用於精確地沈積具有出色附著力和均勻性的薄膜材料。該系統有幾個組成部分，包括真空蒸發源、高功率射頻濺射源、精密兩軸自動級和自動原位晶片菊花裝卸單元。真空蒸發源3Hybrid有助於薄膜沈積，加熱含有材料，然後蒸發和沈積在基板上的坩堝。用高功率感應加熱器加熱到固定溫度，使用戶可以在很大範圍內精確控制源溫度和端點沈積速率。射頻濺射源是基於一種化學惰性陰極基板，它在大面積上以高功率和沈積速率運行。該源能夠生產出附著力好、均勻性高、微碰性低的薄膜。這確保了沈積在基板上的薄膜材料的最佳均勻性。Precision Two-axis自動化級提供了對基板和蒸發源的精確機器人定位,同時監控溫度、位置和沈積速率。該機器能夠精確對準光源,從而實現精確的薄膜沈積.此外,自動化的原位晶片菊花裝卸工具提高了晶片的裝卸效率,使面板或托架的安裝和裝卸變得快速方便,而無需手動進入和對齊晶片。資產還會自動篩選晶片基板,以確保它們在特定尺寸公差範圍內。CMS-24濺射模型是精密薄膜沈積的有力工具，使用戶能夠生產出均勻沈積且具有優良粘合特性的優質材料。該系統具有強大的功能和自動化的原位晶片菊花裝卸設備,可為最苛刻的工業要求提供高效可靠的薄膜沈積能力。
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