二手 KURT J. LESKER Pro Line PVD 75 #9397771 待售
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ID: 9397771
Thin film sputtering system
Vacuum chamber
Heater assembly
Vacuum / Heater controller
Vacuum pump.
KURT J. LESKER Pro Line PVD 75是專門為薄膜沈積而設計的雙磁控管濺射設備。其特點包括兩個獨立的射頻(RF)濺射電源、可變射頻功率和頻率以及可變過程氣體壓力。PVD 75還利用高溫平面敏感源,有助於提高沈積速率,同時提供均勻的薄膜厚度。PVD 75有一個8英寸的二極管沈積室和一個雙源磁控管。這保證了由於大面積濺射而產生的最大沈積速率和均勻性。PVD 75還有三個高溫感應源,可以處理高達500℃的底物溫度。這種可操縱的夾具使得改變從基板到目標的距離變得更加容易。PVD 75還有一個工藝氣體壓力控制系統,旨在更有效地利用工藝氣體。它還為較高的沈積速率提供了所需的壓力和輸送速率。PVD單元的設計是為了最大限度的效率、安全性和便利性。它具有以數字方式顯示在控制面板上的溫度、壓力和電源監控功能。這使用戶能夠實時監控流程,並及時做出任何必要的調整。此外,還可以存儲和監測數據,以便更好地了解沈積過程。PVD 75也是完全自動化的,具有獨立和遠程控制模式。這樣可以確保用戶可以繼續執行其過程,而無需手動操作計算機。PVD還具有自動源匹配和可根據流程需求調整的機動目標。Pro Line PVD 75是一種先進的濺射沈積工具,它提供了出色的沈積速率和薄膜均勻性。它易於操作、高效,並提供多種功能,如兩個濺射電源、可調基板溫度、過程氣體壓力控制、數據集成和遠程控制。尋找可靠、高性能濺射沈積資產的客戶應考慮KURT J. LESKER Pro Line PVD 75。
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