二手 KURT J. LESKER PVD 75 #185736 待售

KURT J. LESKER PVD 75是一款高性能的中頻、單弧濺射源設備。該系統設有鎖載室、真空傳遞室、濺射主室。其底壓為2 x 10-7 Torr，能夠在1 x 10-3 Tor至2 x 10-8 Torr運行。PVD 75單元由裝有E-Gun的濺射室和可調節的目標保持夾具組成。這允許同時和獨立地濺射多個目標和基板。E型槍的高度和角度可調，以增加整個工件的均勻性。腔室配備四臺機械旋轉泵實現超高真空水平，四臺渦輪分子泵達到更高的泵送速度和極限壓力。KURT J. LESKER PVD 75是一款多功能機器,提供多種塗層。可用於沈積陶瓷和非陶瓷材料，如電介質、金屬、氧化物、氮化物以及多種導電和半導體材料。該工具基板尺寸和形狀靈活，可容納200 x 300 mm以下的基板。它還能夠進行濺射清洗或基板脫氣。PVD 75可靠性高,易於維護。它提供了極好的沈積率可重復性和延長的維護周期,從而減少了停機時間並最大限度地降低了擁有成本。此外，資產獨特的endura-Pro Technology可以防止電極和陽極的侵蝕，延長E-gun和濺射陰極的壽命。總體而言，KURT J. LESKER PVD 75是一種高效可靠的濺射模型，適用於廣泛的沈積和濺射清洗應用。其出色的可重復性和較長的使用壽命降低了擁有成本並提高了生產率。