二手 KURT J. LESKER Torus 101 #9210524 待售

ID: 9210524
Magnetron sputtering source With ground shields & feedthrus Rectangular: 4 5/8" x 7 5/8".
KURT J. LESKER Torus 101濺射設備是設計用於將金屬薄膜沈積在表面上的最先進的技術。該系統以高壓直流能量為燃料,創造出高效的濺射過程。該裝置具有一個圓環(圓環)大小,以適應10英寸的晶圓和容易地融入現有的手套箱或處理室。環面101濺射機的設計是精確地將非常細的金屬顆粒輸送到表面。該工具配有自調、低壓、直流電源,確保電力以高效均勻分布的方式施加。它還包括一個陽極板,減少了由於濺射源和基板之間缺乏接觸而引起的來自腔室的潛在熱耗散。KURT J. LESKER Torus 101濺射資產還具有可調濺射壓力模型,用於控制基板表面沈積材料的厚度和均勻性。腔室的設計是這樣的,它將允許高通量,均勻濺射沈積。此外,該設備還配備了各種工藝參數和監測技術,以保持對工藝的控制並確保可重復的結果。Torus 101濺射系統設計用於小規模生產運行。該設備易於安裝和維護,所有組件都包含在工具包中。利用先進的惰性氣體和真空技術,該機能夠在均勻粘附基板表面的情況下,生產出薄薄的塗層厚度。KURT J. LESKER Torus 101濺射工具是適用於各種金屬沈積應用的可靠濺射資產。與其他濺射系統相比,它是一個經濟高效的模型。該設備非常適合生產薄膜電極、光伏器件和其他光電子設備。環面101濺射系統為各種金屬薄膜沈積在基板上提供了可靠、經濟高效的平臺。
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