二手 LEYBOLD / BALZERS Z 590 #9184058 待售

LEYBOLD/BALZERS Z 590是一種高性能濺射設備，設計用於用薄膜塗覆大面積基板。該系統利用大功率感應耦合等離子體（ICP）源產生源源不斷的離子流，轟擊高純度固體目標材料，並以定向方式濺射掉目標材料原子。噴射出的原子向基板行進，在其表面上形成均勻的薄膜。該濺射工藝精度高，具有可靠的薄膜特性。LEYBOLD Z 590包括一個高度集成的控制單元,可自動設置濺射參數,使薄膜沈積過程易於操作和精確控制。該機還包括先進的離子源組件，如低噪聲高功率射頻（RF）發生器、功率範圍廣的優化ICP源和用於將ICP源與目標進行最佳匹配的高功率匹配網絡。BALZERS Z 590還具有自動清潔和調理工具,帶有可伸縮刮刀,用於清除目標上不需要的沈積物。該清洗設備采用了氙氣和氧氣混合物，以達到最佳清洗效率。此外,Z 590還包括帶槳的高精度定位模型和可定位基板確切位置的特殊跟蹤設備,從而可以精確對準濺射目標。在安全性方面，LEYBOLD/BALZERS Z 590是以一個為使用者提供輻射防護的屏蔽艙來構造的。它還配備了可編程互鎖系統，以防止未經授權進入危險部件。此外，該單元還包括一臺先進的診斷機器，用於監控沈積室中的壓力，使用戶能夠輕松檢測氣體泄漏或其他故障。總之，LEYBOLD Z 590濺射工具是需要可靠、精確的薄膜沈積應用的理想選擇。它提供了一個用戶友好的界面和先進的功能，使薄膜沈積過程高效可靠。其先進的安全特性確保操作安全可靠，是各種薄膜沈積應用的理想選擇。