二手 LEYBOLD / BALZERS Z 590 #9213031 待售

ID: 9213031
Sputtering system With load-lock Sputter down: Cathodes with D: 75 mm Possible with adapter flange D: 100 mm (6) Cathodes: D= 150 mm Automatic lock Substrate carrier fully automatic Height adjustable turntable version Coating static Rotating Oscillating with angle specification 6-8 Substrate positions with (150) cathodes 6-Substrate positions with (200) cathodes HF Etching Rotary cover Microprocessor control (40) Coating programs: From (120) parameter sets Plant and process visualization: 9" Operating terminal Pumping system D65BCS TMP 1000 Lock D8B.
LEYBOLD/BALZERS Z 590是一種濺射設備,能夠將高質量的材料沈積在腔內。它利用磁控管濺射的方法,以創造一個均勻分布的材料在室內。LEYBOLD Z 590能夠利用產生的磁場和功率產生極高的沈積速率。該系統可以處理各種類型的材料,如金屬、合金,甚至氧化物。BALZERS Z 590采用先進的磁電組件,由磁鐵和電場組成。這項技術使循環時間相對較短和較快,但仍能提供較高的沈積速率。電場的作用是使工作氣體電離(在這種情況下,典型的是氙氣)。電離氣體然後沿著磁體加速進入腔壁,在那裏沈積材料。這個過程允許更清潔的沈積,因為它不需要與基板接觸。Z 590的設置非常簡單,不需要任何額外的專用設備。該單元由一個獨立的等離子體室組成,該室同時容納磁控管和基板支架。電源也位於腔內,由操縱桿控制,以調節電壓和電流。使用預裝的機械泵可以將腔室排空。LEYBOLD/BALZERS Z 590可廣泛應用。它能夠為醫療、汽車和航空航天應用開發高質量的塗層。也適用於研發用途,如新塗料的產生或現有塗料的評估。此外,該機提供了生產納米結構塗料和先進材料的理想平臺。總體而言,LEYBOLD Z 590是一款用途廣泛且可靠的工具,它提供了強大的濺射過程,並取得了出色的效果。它易於安裝並以始終如一的高質量標準運行。該資產為各領域的塗層應用提供了極為精確的沈積過程。
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