二手 LEYBOLD / BALZERS Z 650 #9026903 待售

LEYBOLD/BALZERS Z 650濺射設備使用射頻（RF）能量將薄膜沈積到多種基板上。該系統設計用於金屬、復合材料和合金的高質量濺射，並配備六源離子源和平衡射頻發生器。LEYBOLD Z 650可達到高達2 nm/s的高沈積速率，在沈積膜表面具有極好的重復性和優異的粗糙度。BALZERS Z 650配備了超低能電子源，用於薄膜性能優異的均勻沈積。薄膜沈積的均勻性得益於低電子能量，使得離子可以從等離子體中提取，轉移到底物上，沈積損耗很小。此外，電子源可以提供非常低的底物偏差，導致高均勻的薄膜對汙染物的吸收較低，附著力較好，保質期更長。Z 650單元是自動化提供可重復和可復制的薄膜沈積。壓力、溫度、功率、持續時間等工藝參數自動控制，有助於實現沈積膜更好的重復性和可重復性，確保濺射機連續運行。LEYBOLD/BALZERS Z 650工具具有豐富的保護功能，如自動緊急停止、振動監測資產，以及在壓力變化時自動關閉。這些功能不僅使型號更加方便用戶,而且確保了更好的設備安全性和性能。最後，LEYBOLD Z 650配備了多種監控設備，如攝像機、石英晶體監視器、質譜儀等。這些特性能夠持續監測沈積過程，提供有關沈積膜厚度分布、地形和均勻性的詳細信息。