二手 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 #9100807 待售
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ID: 9100807
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 1993
Sputter deposition system, 4"-6"
(3) Targets, 8"
Sputter etcher
(3) Sputter guns
PC Controller
HUTTINGER RF Supply 13.56 MHz
INFICON QUADREX 100 Residual gas analyzer
Substrate heat
Onboard CTI-8 on process chamber
Turbo pump on loadlock chamber
Cluster type
1993 vintage.
LEYBOLD/BALZERS ZH 620是一種高性能濺射設備，設計用於各種應用，如研究、工業和納米光刻。它將現代技術中最好的技術與綜合可用性相結合，以獲得優異的效果。濺射系統有一個高電阻的石墨目標和一個電弧點火電路，允許調節離子電流和功率水平。LEYBOLD ZH 620具有熱和脈沖模式濺射的能力，適合不同的應用。高阻力石墨目標可以快速、方便地改變，目標到基材距離可以快速調整，以提高效果。濺射裝置的外形尺寸很小，即使是最小的空間也很容易安裝。低功耗使得它成為許多應用的經濟選擇。它采用8.4英寸大型液晶觸摸屏顯示屏,易於瀏覽。用戶界面包括全面的源和基板設置調整、腔室設置、電源機參數和診斷。它還提供了一系列可編程的功能，如基板溫度、壓力控制、高壓控制和端點監控。BALZERS ZH 620可以濺射一系列材料，包括金屬、絕緣體、陶瓷、聚合物和有機材料。該工具設計為在0.1至0.2毫米厚的薄膜之間濺射。濺射沈積速率可以從0.001調整到0.2 nm/min，具體取決於基板材料、目標材料和腔室溫度。ZH 620可以配備一系列附加組件，如特殊的等離子體源、濺射剝離器和溫度控制的不銹鋼擋板，以獲得改進的效果。它還提供與第三方設備的集成，如X射線熒光光譜儀、基於QCM的質譜儀和朗繆爾探測器。總而言之,LEYBOLD/BALZERS ZH 620是為一系列應用程序設計的高級濺射資產。它的特點和配件使它成為許多用戶的通用、經濟實惠的選擇。
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