二手 LEYBOLD HERAEUS Z550 #9237887 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550濺射設備是一種高精度蝕刻工具，設計用於制造不同表面厚度均勻的薄膜。它提供了卓越的表面精度，能夠實現極高的薄膜厚度精度水平，從而制造出各種各樣的薄膜系統，如MEMS、太陽能電池、半導體器件、電容器和光電器件。LEYBOLD HERAEUS Z 550利用獨特的LEYBOLD HERAEUS OpenArc圓頂濺射頭，在整個表面積上提供統一一致的過程。該系統提供了可變過程壓力能力，允許高達10-4毫巴的過程壓力與可調氣流和高效二次電離源。它能夠產生多晶、無定形、納米晶等各種薄膜形式。HERAEUS Z550利用先進的光學高溫計監測和調整工藝參數的能力進一步增強。此功能提供自動溫度控制,以確保均勻準確的沈積和保形膜工藝.Allen Bradley自動化允許用戶對設備進行各種流程的快速編程,而基於Windows的軟件允許輕松設置組件,包括目標孔徑、圓頂旋轉、氣流和壓力。Z550還設計了內置超壓機,以提高安全性。該工具由具有高壓電源的低壓直流磁控管提供動力，用於高速率沈積。資產還包括負載鎖室、機器人晶圓處理系統、溫度傳感器和高壓閥門，以增加安全性。LEYBOLD HERAEUS HERAEUS Z550專為低汙染生產環境而設計，還配備了HEPA過濾清洗模型。Z 550濺射設備是現代高精度薄膜制造的一種功能強大、用途廣泛的工具。該系統非常適合在電子、醫療、光電、納米技術和航空航天等行業的苛刻應用。LEYBOLD HERAEUS Z550采用尖端技術,為各種應用提供可靠、準確的薄膜沈積。