二手 LEYBOLD HERAEUS Z550MS #31347 待售
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ID: 31347
優質的: 1987
Sputtering system
Load lock system
Mechanical component:
Frame with liner
Vacuum chamber with sight glass
Chamber lid with bores for mounting cathodes
High vacuum valve NW 150 with throttle position
Electrical component:
Rack cabinet, 19"
Switchboard including fuses and connections
Pumping system with turbo molecular pump and vacuum gauge control
Vacuum gauge controller
IM 110 D Ionization vacuum gauge
D40B Rotary vane pump:
(2) Stages
Pumping speed 40 m³/h
Flow control:
(2) Gases complete with sensor
Control valve
Control rack
Digital indication
Backing plate
Substrate load lock:
Load lock including high vacuum valve
Electro pneumatically operated
Load lock
Pumping system
Vacuum gauge controller
DC Sputtering equipment:
DC Power supply type: SSV 3.5
Power: 3.5 kW
Maximum voltage: 600 V
Cathode selector switch
(4) High rate cathodes PK 150:
Complete with magnets and insulators without target material
Substrate carrier:
Made of Aluminium, insulated for RF bias and RF etching
Infrared heating station
Shutter
Special aperture diaphragms
Sputtering timer
(4) Targets:
1st Target: Pt
2nd Target: Pd
3rd target: NiCr
RF Equipment:
RF Generator: RF Sputtering / RF Etching IS 2.5
Process switch
RF Etching and RF Bias in process module
Control system upgraded
Manuals
1987 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z550MS是一種用於在表面上生產薄膜塗層的濺射設備。它是一個高效率和具有成本效益的系統，能夠將薄膜應用於各種底物，包括金屬和聚合物。Z550MS具有強大的4kW電源和易於使用的數字控制功能,可進行快速、準確的調整。它內置的壓力控制單元允許對腔室壓力進行精確的控制，並允許最佳的過程結果。該機還具有多源功能，能夠同時濺射不同的材料。LEYBOLD HERAEUS Z550MS中的濺射目標由厚實、高性能的碳和鋁合金材料制成。包括兩個區域的Targets允許更好的配電以制造均勻的塗層；它們還有助於提高濺射速率和減少目標外濺射。兩區目標設計還有助於減少載荷時間，提高薄膜在濺射多種不同材料時的均勻性。Z550MS采用革命性的高速度濺射技術，提高濺射速率，提高工藝均勻性，減少整體塗層時間。強大的光束冷卻工具可減少源間侵蝕,並實現更大範圍的沈積條件。LEYBOLD HERAEUS Z550MS中的濺射頭設計用於高精度濺射操作,並具有可調節的傾斜傳感器,可在大面積上精確沈積。它還具有遠程監控和直觀的LCD觸摸屏,帶有數字控件,可實現精確的層間控制和監控。該資產能夠濺射金屬、氧化物、氮化物和陶瓷靶標。Z550 MS的模塊化設計允許輕松清潔、維護和升級功能。它配備了一個簡單的負載目標安全模型，當目標離開艙室時自動鎖定目標，為您的設置增加了安全性和便利性。LEYBOLD HERAEUS Z550MS還包括一個原位基板加熱設備和一個內置氦氣泄漏檢測器，以提高性能，確保薄膜的最高質量。總之，Z550MS是一個強大而高效的濺射系統，能夠在各種基板上產生高質量的薄膜。它可靠的組件、用戶友好的設計和多種功能使其成為尋求經濟實惠且高效的濺射應用解決方案的人的絕佳選擇。
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