二手 LEYBOLD HERAEUS Z550S #9192875 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550S是一種濺射設備，設計用於使用各種濺射目標進行物理氣相沈積（PVD）。利用陰極電弧沈積（arc PVD）沈積厚度變化的高純度金屬和非金屬材料薄膜。也可用於制造單層和多層塗層。Z550S濺射系統設計用於先進的研究和工業應用，如半導體級顯示器和光學塗層。LEYBOLD HERAEUS Z550S有一個四目標炮塔，具有可調角度，以方便膠片對準和層一致性。濺射室直徑為6英寸（152毫米），長度為18英寸（457毫米），這使其具有用於濺射更大面積基板的大腔體體積。Z550S可以容納直徑不超過8英寸（203毫米）、厚度不超過4 ″ （102毫米）的基板。集成式冷卻套有助於最大限度地減少目標和基板的加熱。LEYBOLD HERAEUS Z550S濺射裝置具有高性能電子回旋共振（ECR）離子源。與傳統的射頻離子源（RF-PVD）相比，這種離子源在目標和底物上提供了更為均勻和均勻的離子轟擊。ECR離子源在較大的基質區域上具有良好的沈積速率均勻性，適用於非導電材料、慢侵蝕靶等各種特殊靶標。Z550S濺射機配備了先進的過程控制軟件，使用戶能夠方便地編程沈積過程和監控沈積參數。該軟件還允許用戶創建工藝數據庫，該數據庫可以存儲和加載傳統復雜塗層工藝的參數。用戶可以通過LEYBOLD HERAEUS Z 550S的電腦界面監控和控制基板溫度。Z550S濺射工具設計方便維護，其部件由優質材料制成，具有最大的耐用性和可靠性。其軟件可通過閃存驅動器輕松更新,並且資產還提供遠程診斷和故障排除服務,以最大程度地減少停機時間。因此,LEYBOLD HERAEUS Z550S是用於研究和工業應用的可靠、經濟實惠且易於使用的濺射模型。