二手 LEYBOLD HERAEUS Z550SM #9235453 待售

ID: 9235453
優質的: 1989
Sputtering system 1989 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z550SM是為生產和研究應用而設計的功能強大且用途廣泛的濺射設備。它可以用來將不同材料的薄層沈積到基板上。該系統由一個濺射陰極、真空室、電源和一系列先進功能組成。Z550SM能夠利用磁控管和離子束濺射沈積過程將不同的材料濺射到基板上。濺射源是一種可用於濺射純金屬、合金和陶瓷的大功率多位置圓形磁控管。離子源具有多發散光束剖面,用於高分辨率結構的沈積。該電源可為濺射過程提供高達24kW的功率,並具有調節沈積速度的可調頻率控制單元。LEYBOLD HERAEUS Z550SM的真空室是一種高真空機,工作壓力範圍為2 x 10-8 mbar至5 x 10-2 mbar。該工具用消除閥密封,采用Bayard-Alpert電離量表。Z550SM還有一個起重平臺,可以用來調節基板的位置和傾斜度。濺射設備具有自動過程控制和端點檢測能力,以確保可靠和可重復的結果。整個模型可以通過易於使用的圖形用戶界面輕松監控和控制。預定義的配方編輯器存儲不同濺射過程的所有相關參數,並使用戶能夠創建和保存自己的配方。設備還包括多項安全功能,以防止設備意外操作和超載。總體而言,LEYBOLD HERAEUS Z550SM是一個功能強大且用途廣泛的濺射系統,通過其高級功能提供精確的控制和可靠的結果。該裝置適用於生產和研究應用,是將不同材料的薄層沈積到基板上的理想選擇。
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