二手 LEYBOLD HERAEUS Z550SS #9105299 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550SS
ID: 9105299
Sputtering system.
LEYBOLD HERAEUS Z550SS是一種基於直流/射頻雙磁控管的物理氣相沈積(PVD)濺射設備。它利用兩個磁控管源進行濺射過程,將薄膜沈積在基板上,形成了對輪廓形狀和均勻性進行精確控制的優良保形塗層。濺射系統由四個工藝室組成----一個大的工藝室,其窗口尺寸為6 "× 6" × 8"(152毫米× 152毫米× 203毫米),還有三個小得多的室,專門為最佳工藝產率和最小交叉汙染而設計。加工室還有一個氣體出口連接,允許直接從外部源供應加工氣體。該裝置為加工室和原地清洗利用獨立的氣體供應系統,確保有效控制產生一致結果的工藝參數。Z550SS濺射機具有高功率的離子源,壽命長,氣體壓力高,高效濺射。它還使用先進的數字射頻功率控制來精確控制沈積速率、最大離子電流和輪廓覆蓋的均勻性。該工具配備了數據處理資產,對沈積過程進行深入分析,使用戶能夠優化沈積參數。此外,該模型還包括一個自動溫度控制設備,用於在最佳基材溫度下高效沈積。LEYBOLD HERAEUS Z550SS濺射系統設計方便操作,具有直觀的軟件、可編程自動控制面板和清晰的LED指示燈,可快速視覺參考。此外,它還設計用於與其他濺射系統兼容,允許用戶交換信息,而不管設備的品牌或型號如何。Z550SS具有強大的功能和通用的軟件,是高效沈積薄膜、精確控制輪廓形狀和均勻性的理想濺射機。
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