二手 LEYBOLD HERAEUS Z650 #32461 待售
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ID: 32461
晶圓大小: 8"
優質的: 1990
Inline sputtering system with loadlock, 2 chambers with 3 diode targets per chamber, 8", Plasma Source: RF-power supply Hüttinger TIS0.5/13560
1990 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z650是一種高端多源濺射塗料,設計用於將材料薄層沈積到各種基板表面上。用於醫療器械醫療診斷元件、平板顯示器、半導體包裝和光伏材料等廣泛應用。LEYBOLD HERAEUS Z 650濺射設備由兩個主要部件組成-電源和濺射單元。電源包括三個獨立的通道,最多可處理五個獨立的濺射源。它配備了一個數字顯示屏,用於監測每個電源的電壓、電流和功率水平。沿濺射弧線在259個正電子處監測電流,以保證最佳濺射過程。濺射單元由可旋轉的卡盤組成,可用於無影濺射沈積和正常濺射到基板上。濺射目標保持在可變傾斜角度高達10度的浮動目標支架中。這個持有者可以在X和Y方向移動,以確保整個濺射目標的均勻覆蓋。濺射室可在1毫巴至13毫巴的各種背景壓力條件下操作。Z650系統得益於多源功能和廣泛的目標選擇。它能夠塗覆多種金屬、半導體及其衍生物,如鋁、銅、銨、鎢和鉻。模塊化設計允許同時配置多個濺射配置,從而為用戶提供不同的好處,例如提高生產率和提高流程通用性。Z 650濺射裝置具有先進的控制功能,可實現準確和可重復的過程結果。集成的Data Logger提供實時流程信息,這些信息可以傳輸並存儲在USB驅動器上,用於進一步的數據分析。該機還包括一個可選的VacPit多合一真空泵和一個無油的背襯。LEYBOLD HERAEUS Z650濺射工具為薄層沈積在各種基板表面提供了先進的特性和精確的控制。模塊化設計在使用方面提供了靈活性,並利用多種來源功能提高了生產效率。Data Logger提供實時數據,並輔以集成的VacPit吸塵泵,用於更清潔的環境。
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