二手 LEYBOLD OPTICS Pegasus #9299848 待售

LEYBOLD OPTICS Pegasus是一款功能強大、最先進的濺射沈積設備，旨在生產高質量的薄膜塗層。它建立在經過試驗和驗證的Leybold真空技術之上，包括一個帶背襯泵的渦輪分子泵、一個GD2004/QD數字控制器、一個精心設計的負載鎖和兩個不同的磁控管濺射源。該系統具有精確可靠的基板定位和鎖載溫度控制，以及現場源溫度和階段參數優化。這允許最小能量輸入和產量優化。該機組的主反應堆裝有不銹鋼室罩。它旨在為人員、部件和塗料提供最大限度的保護。整個房間還包含快速打開和重新關閉安全門，以增加保護。萊博爾德飛馬號使用在直流和脈沖功率水平上運行的雙磁控管源，以及用於高密度離子轟擊的ECRN離子源。它在高達6E-2 Torr的壓力下運行，源到基板的距離可達60mm，開口可達16英寸。再者，基板尺寸可以在2到15英寸之間，濺射功率高達3 kW。機器與手動操作的樣品架一起運作，並允許沈積導電和非導電材料，如金屬、電介質、氧化物、聚合物和合金。它還有一個內置的基板冷卻工具，用於沈積過程中的溫度控制，並且能夠達到8 µm/min的沈積速率。此外,Leybold LEYBOLD OPTICS Pegasus還包括一個用戶友好的圖形用戶界面、一個過程監控資產和一個溫度監視器,可確保精確的塗層厚度控制。所有這些特性都有助於實現精確和可重復的結果,使其成為許多工業應用的理想工具,如平板顯示器開發、光學薄膜沈積、摩擦學塗層以及醫療元件和儀器制造。