二手 LEYBOLD Star 1000 #293775767 待售

LEYBOLD Star 1000是一款高性能濺射設備，設計用於薄膜沈積，應用範圍廣泛，包括半導體制造、光學塗層、材料研究等。這套先進的系統采用了最先進的技術來提供對薄膜厚度、組成和均勻性的精確控制，使其成為要求苛刻的薄膜沈積工藝的理想選擇。主要功能：1.多目標配置：Star 1000具有多用途多目標配置,允許從不同材料同時濺射。這種能力能夠沈積具有定制特性的復雜多層薄膜，如高反射率或低發射率的光學塗層。2.磁控管濺射：該裝置采用磁控管濺射技術，與傳統的直流濺射相比，提高了濺射效率，能夠在較低的壓力下沈積。磁控管源提供了很高的電離速率，從而提高了薄膜的附著力和密度。3.基板加熱和冷卻：LEYBOLD Star 1000配備精確的基板加熱和冷卻機制，以優化薄膜生長條件。對底物溫度的控制允許沈積具有特定特性的薄膜，如結晶度控制或應力管理。4.等離子體蝕刻能力：除薄膜沈積外，該機還能夠進行表面清潔和制備等離子蝕刻工藝。等離子體蝕刻能力有助於在沈積前從基板表面清除汙染物或天然氧化物，從而確保高質量的薄膜生長。5.工藝控制和自動化：濺射工具配備了先進的工藝控制功能，包括對沈積率、壓力、功率等關鍵參數的實時監控。自動化功能能夠精確控制沈積過程,確保膠片特性的可重復性和一致性。6.增強型真空資產：Star 1000配備了高性能真空模型，以實現濺射過程所需的基本壓力。堅固的真空泵和集成的工藝室設計確保在清潔、低汙染的環境中高效的氣體排出和沈積。7.用戶友好界面：該設備具有直觀的用戶界面和全面的軟件控制，便於操作和監控。圖形界面為用戶提供過程參數的視覺反饋，並允許設置自定義沈積配方。8.安全功能：LEYBOLD Star 1000具有多種安全功能,可確保操作員保護和系統完整性。這些功能包括用於真空和電源保護的互鎖、緊急停止機制以及用於設備狀態監控的內置診斷程序。總體而言，Star 1000濺射機為精密薄膜沈積、等離子體蝕刻和工藝優化提供了一個通用平臺。憑借其先進的特性和功能,該工具非常適合需要具有量身定制特性的高性能薄膜塗層的各種研究和工業應用。