二手 LEYBOLD Web 750sp #9030297 待售
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ID: 9030297
PV sputter web coating system
Coating speed up to 3 m/min for solar cell transparent front contact coating
Coating width of 500 mm (can be extended up to 1500 mm)
Dry vacuum pumping system with high water vapor pumping speed
Integrated on-line process control
Deposition speed: max line speed is limited to 1 m/min
Web width: limited to 600 mm wide web with an effective coating width of 550 mm.
LEYBOLD Web 750 sp是一種最先進的濺射沈積設備，旨在促進廣泛的濺射應用。它包含了一個超薄膜濺射沈積模塊，幫助創造獨特的薄膜沈積範圍從純金屬到復雜的多組分合金或氧化物。Web 750 sp具有一個大的12 x 8英寸主動濺射區域,可提供最大的區域覆蓋範圍,允許較大基板的濺射。采用脈沖直流磁控管技術，具有最佳性能和沈積薄膜結構的能力，具有優異的均勻性、附著性和組合性。LEYBOLD Web 750 sp包含一個集成的計算機控制和可視化系統,可幫助監控沈積過程。此單元提供了一種具有用戶定義參數的自動化方法,可實現簡單高效的操作。Web 750 sp還包括一個靈活的模塊機器，允許工具根據用戶應用需求進行定制。LEYBOLD Web 750 sp具有高純度氣體分布，允許在濺射前和濺射過程中對腔室進行最佳凈化，其加工氣體範圍從Ar到O2和N2不等。該資產還提供了一系列用於基板濺射的石英和陶瓷靶標，包括四個帶有油擴散泵的渦輪分子泵，用於抽取模型進行沈積。Web 750 sp提供了一個簡單操作的直觀用戶界面以及在不同基材之間輕松切換的能力。該設備還包括一個獨特的專利安全啟動系統作為一個功能，幫助降低濺射過程事故的風險。此外，它為離子轟擊和濺射清洗能力提供了一系列離子源。總體而言,LEYBOLD Web 750 sp是一個出色的濺射裝置,能夠提供高質量的薄膜沈積,具有廣泛的應用。其直觀的控制機器結合先進的氣體分配和安全啟動工具，使其成為濺射過程的絕佳選擇。
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