二手 MAGNETRON SHS-2M-3-400TL #9221750 待售

ID: 9221750
RF DC Sputtering system.
MAGNETRON SHS-2M-3-400TL是為各種物理氣相沈積(PVD)應用而設計的MAGNETRON濺射設備。系統由兩級MAGNETRON、3位旋轉目標和直徑400毫米的平面目標組成。MAGNETRON為兩級設計,由初級級和次級級組成。初級級由外部冷卻、磁屏蔽的大功率直流放電磁控管組成。這種磁控管最適合用於金屬合金和氧化物等薄膜材料的濺射沈積。二次無陽極細間距磁控管用於控制小目標區域的蝕刻或濺射。它有一個大功率射頻源和一個平面法蘭來支撐目標。3位旋轉目標用於進行多層濺射和塗層。濺射裝置采用專利的混合濺射方法,實現了較高的沈積速率和均勻性。直徑400毫米的平面目標用於更大面積的沈積。它可以沈積各種材料,從金屬合金和氧化物到氮化物和碳化物。SHS-2M-3-400TL濺射機具有獨立的控制界面,允許用戶控制濺射過程的所有參數。該工具還包括一個電動吊桿,便於目標的人體工程學定位。該資產被封閉在氣密室中,以防止濺射過程受到汙染,並最大限度地提高沈積效率。此外,該車型還內置聯鎖安全設備,確保運行安全可靠。MAGNETRON SHS-2M-3-400TL非常適合廣泛的PVD應用,包括光伏電池、LED照明、工具塗層和其他高級塗層。該系統的設計具有高精度、高沈積率、高均勻性等優點。先進的技術確保了一致、優質的塗層和優越的投資回報。
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