二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 HEDA #9203525 待售
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MEIVAC/ALCATEL/COMTECH 2460 HEDA是一種高度通用的濺射設備,用於包括半導體和顯示器制造在內的多種應用。它是為生產薄膜沈積而量身定制的,產生高純度的氮化硼和類似金剛石的碳層。該系統除了能夠進行濺射蝕刻、反應性濺射、離子植入等過程的其他材料外,還能夠產生廣泛的用於沈積的目標材料,如矽氧化物、氮化物和碳化物。MEIVAC 2460 HEDA具有一次最多存放15個晶片的能力,使其用戶節省時間並增加吞吐量。它還制作高品質、高性能的水晶膜。其先進的磁控管濺射技術有助於提高可控性,改善精密均勻的塗層。該單元復雜的過程控制和監視系統使用戶能夠實時監視、診斷和修改其沈積過程。ALCATEL 2460 HEDA利用其四個獨立的高密度離子源以及其四簇高電流電源,確保了高效的鋁化工藝和目標塗層,從而導致了薄膜的高質量沈積。該機器還具有現場監測和數據記錄功能,使用戶能夠調整基板溫度、腔室壓力和偏壓,以確保準確的結果。這種工具也非常人性化,便於對不同的材料和過程進行編程。2460 HEDA也被設計為符合最高的環境標準,減少能源使用。已對其進行測試,以滿足UL、CSA和CE等主要環境認證組織的要求。該資產還配備了先進的安全功能,如在發生電源故障或運行故障時自動關閉。總體而言,COMPTECH 2460 HEDA是一種先進的濺射模型,提供卓越的性能和存款質量。它非常適合各種應用,其復雜的工藝控制和監控系統使用戶能夠產生高精度的薄膜沈積結果。該設備非常適合用戶以高效、節能的方式尋找高精度結果。
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