二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9174887 待售

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ID: 9174887
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
RF Sputtering system, 6" Process chamber ultimate vacuum: ≤2.0E^-6T Process gas pressure range: 0-50mt Process gas flow: 1-200sccm RF: Up: 0-2 kW Down: 0-5 kW Power: 208V, 60 Hz, 3 Phase, 125A 1994 vintage.
MEIVAC/ALCATEL/COMTECH 2460是一種先進的濺射沈積設備,專為在研發、半導體和光學行業的塗層應用而設計。該系統利用多目標、多弧磁控管濺射在基板上形成保護層。該工藝在均勻性、沈積厚度和附著力方面提供了卓越的性能。該裝置配備了多達八個濺射源,以及一個四軸自動定位機,使均勻和全覆蓋。總沈積面積可以很容易地改變,以適應應用的需要。這些特征允許徑向和/或橫向塗層。該工具的源代碼控制模塊包括一個流程監控資產,它提供了全面的實時沈積信息。這包括沈積速率、表面均勻性、汙染和臺階高度。其他特點包括高溫處理、氧等離子體輔助沈積、介電層沈積以及像納米粒子這樣的獨特材料的摻入。MEIVAC 2460使用簡單,包括直觀的設置選項、易於編程的配置文件構建以及全面的支持。該模型需要最小的空間,並提供靈活的聯網選項,允許用戶從多個位置連接和控制設備。ALCATEL 2460設計得高度可靠,並配有眾多硬化特性。這包括故障安全電源控制設備、監控電壓和易於調節的脈沖電源卸載。此外,該單位的設計是為了安全和具有成本效益的運作,包括全面的流程監測和監管系統。2460是一種先進、高效的濺射沈積系統。該單元優越的性能和多功能性使其非常適合各種行業和應用。這臺機器為用戶提供了一個易於控制的單元,提供精確的結果和卓越的穩定性。
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