二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9261538 待售

ID: 9261538
Barrier layer deposition systems.
MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460濺射設備是一種先進、通用、可靠的工具,用於將不同材料的薄膜沈積到各種基材上。它設計用於多層化合物的高通量沈積,從而產生清潔、塗層和絕緣薄膜。此工具的模塊化設計適用於薄膜的沈積和表征,可用於打印、平板顯示器、傳感器和生物醫療設備等多種應用的三種協作目標。MEIVAC 2460設有真空室,由一個帶隔離閥的超高真空口和渦輪泵組成。該室還配備了氣體控制系統,提供精確控制的低壓環境。這一單元提供了對總壓力的主動控制,並允許人們從用於濺射和表征薄膜的各種氣體中進行選擇。此外,該室還配備了用於溫度穩定的內部水冷卻機和堅固的目標支撐,為引入基板提供了多種可能性。沈積過程由基於PC的電子工具和用戶友好的圖形界面控制。ALCATEL 2460具有廣泛的濺射源,包括共沈積源、高功率源和專門設計的源。每個源都與工藝和基材精確匹配,以優化性能並確保工程質量結果。濺射源提供了廣泛的離子種類,如Ar+、Ar++、反應氣體離子等,允許對沈積速率和均勻性進行微調。共沈積源可產生多種受控微觀結構的層狀結構。COMPTECH 2460濺射資產提供卓越的性能、可靠的操作和可定制的配置。它提供了對操作參數和沈積過程的全面控制。它允許在真空室內進行過程監控,並使用各種精密工藝儀器進行出色的過程控制。它非常適合為需要電阻、電容、光學或磁性的應用創建薄膜,並且能夠以高精度和高通量進行出色的材料沈積。2460濺射模型是塗覆具有可靠、高性能薄膜層的基板的最佳工具。
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