二手 MRC 600 #9248407 待售

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MRC 600
已售出
製造商
MRC
模型
600
ID: 9248407
晶圓大小: 6"
Sputtering systems, 6".
MRC 600是一種濺射設備,用於將薄膜沈積在各種基板上。這類沈積過程涉及將氣體電離並加速向目標材料噴射該材料的原子並在基板上形成薄膜。這類系統常用於半導體工業以及光學和數據存儲等其他行業。600是一種真空濺射裝置,能夠實現10至1000納米範圍內薄膜的高質量沈積。它采用不銹鋼腔室建造,能夠通過機械和渦輪分子泵實現1 x 10-6 torr的真空。它由8個可隔離的直流平面磁控管供電,允許對濺射條件進行優化。腔室采用圓錐形目標設計,包括集成基板旋轉和基板加熱器,兩者均用於實現均勻塗層。該機配備了視頻顯示、遠程電子控制、電源故障報警等幾個電氣部件和有用功能。MRC 600是一個可靠的工具,操作簡單,允許快速靈活的生產過程。它既能批量沈積,又能連續沈積,可作為一個可選的額外的負載鎖。這種資產最適合沈積介電、導電和光學薄膜。它還配備了用於均勻薄膜塗層的閉環射頻電源和用於提高性能的氙氣噴射模型。總之,600是一種可靠高效的濺射設備,非常適合希望在半導體和光學行業等各種基板上高效沈積薄膜的用戶。它配備了能夠增強和均勻沈積薄膜的功能和組件,從而使其用戶能夠取得高質量的結果。
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