二手 MRC 602 #9008360 待售

MRC 602是溫州科達真空技術有限公司生產的多功能濺射設備。設計用於將塗層材料薄膜沈積在基板上。該系統由一個超高真空底槽、兩個濺射室、兩個烘烤室和一個多色以太網操作單元組成。超高真空底槽用於將濺射室和烘烤室預泵至10-4 Pa以下的真空水平，然後將這種真空與底槽隔離，形成獨立的獨立室。兩個濺射室配有七層耐真空不銹鋼擋板，允許對超高真空條件進行精確控制。腔室還配備了主動冷卻機，在濺射處理過程中均勻加熱/冷卻。雙濺射室裝有13位高功率磁控管濺射源。這些濺射源能夠產生每分鐘0.05至10納米的沈積速率，從而能夠對基板進行精確的薄膜塗層。此外，電源配備了獨立的交流電源，允許高低功率設置都進行調整，以提高靈活性和穩定性。這兩個烘烤室用於在濺射加工過程中將基材溫度提升至300 °C。這樣可以更好地控制溫度，還可以處理更多的濺射材料。烘烤室還配備了熱電偶反饋控制工具，允許在濺射過程中更快、更精確的溫度控制。最後，利用多色以太網操作資產來控制濺射模型。這包括對濺射源的精確控制、烘焙室溫度以及超高真空底槽。這使用戶能夠快速輕松地自定義設備設置以滿足其特殊需求。總體而言，602是一個先進的，高度通用的濺射系統。其特點和精確的控制保證了塗層在基板上的精確薄膜沈積。此外，它采用超高真空、大功率磁控管濺射源、熱電偶反饋控制系統等先進技術，確保了卓越的性能和可靠性。