二手 MRC 603 #293628797 待售

MRC 603是為薄膜物理氣相沈積（PVD）設計的全自動濺射設備。它設計用於從研究到生產的操作和過程。強大的濺射系統適用於任何需要光滑、均勻和精確沈積具有高重復性的材料的應用。603有六個可以配置不同材料類型的陰極，使得PVD工藝可以調整到廣泛的要求。MRC 603的獨特設計允許多種陰極配置，從固定配置到旋轉配置。該單元還能夠偏置，允許基板以最大的效率和速度進行加工。603有板載等離子體發生器，適合反應性濺射。強烈建議采用這種方法實現可靠和均勻的沈積。MRC 603的先進軟件套件允許設定和控制精確的濺射參數，從而保證了高質量的均勻薄膜。603的堅固設計允許高功率運行，使得較厚的薄膜沈積具有更高的吞吐量。這臺機器的獨特設計是利用可編程控制器來驅動過程參數和操作，從而便於定制和可重復性。為了在高濺射速率下高效沈積薄膜，MRC 603在其設計中嵌入了全自動基板加熱/冷卻工具。這使得對底物溫度的精確控制可以達到高均勻度的可重復薄膜。603可以針對廣泛的應用進行定制，在其設計中嵌入各種聯鎖和安全系統。這樣可以確保操作人員在加工敏感基材和高純度薄膜時的安全。MRC 603是一種多功能、可靠和創新的濺射資產。它不僅適用於研究應用，而且其豐富的特性使其也非常適合用於生產。高端應用,如薄膜堆棧裝配,可以利用精確、可重復和精確的薄膜603進行存放。