二手 MRC 603 #293666830 待售

MRC 603是由Nova Instruments, Inc.設計制造的用於薄膜沈積工藝的多功能可靠濺射設備。該系統采用圓形、9桶、四臂炮塔，提供最佳沈積幾何形狀和廣泛的工藝靈活性。該炮塔裝有一個充電卡，最多可控制六種不同的工藝或材料。603采用全自動過程控制,具有觸摸屏PLC、獨立的直流電源和過程控制功能。這確保了沈積是可重復和安全的。該單元還可以同時適應直流和射頻濺射配置,允許用戶根據其確切的工藝需求定制機器。該工具的控制站最多可存儲20種不同的流程監控配方。MRC 603有一個內置的氣體處理歧管，使資產可以很容易地整合到現有的真空基礎設施中。在最大氣體流量為2.5升/分鐘的情況下，該模型允許將氣體高效輸送到工藝室內。此外，設備的開放式設計HF/DC發電機允許優越的蝕刻均勻性，而雙磁控管設計則提供了理想的濺射環境。603的附加功能包括91英寸的腔室,其設計可提供足夠的加工面積和高吞吐量。使用6英寸的特氟龍窗口，使系統能夠濺射到酸銨、鎢、鉬、鋁、不銹鋼、合金等工藝材料。聚四氟乙烯窗口還為薄膜光伏等光學應用提供了卓越的光學清晰度。總體而言，MRC 603是一個高質量的濺射裝置，具有支持實驗室級薄膜沈積過程所需的所有功能。該機高效、可靠、經濟高效，加上先進的特點，也適用於大型工業應用。