二手 MRC 603 #293793111 待售

MRC 603是一種高性能的濺射設備，用於沈積納米尺度的薄層材料。該系統利用具有三焦點磁場的多目標旋轉陰極，允許最大濺射速率、均勻性和各種基板上均勻的塗層厚度。此外，可以調整目標角度，優化濺射速率和均勻性參數。憑借最多可支撐三個濺射室的能力，603允許客戶塗覆大型基板，如平板顯示器、汽車玻璃和有機發光二極管（OLED）。該單元是模塊化和可自定義的,允許針對各種客戶需求定制配置。這包括各種腔室大小和目標，以及可調氣體管線，以提高耐用性和靈活性。該工藝室由不銹鋼制成，提供強大的汙染物防護。直徑從8英寸可調至24英寸，以支撐各種基材尺寸和厚度。MRC 603的直流電源可提供高達100 kW的功率，允許在塗層過程中增加濺射速率。此外,它還提供了對電位和電流的精確控制,從而實現了準確和可重復的塗層結果。集成的濺射過程控制機器允許精確、用戶定義的過程參數，最大限度地提高成本和時間效率。該工具可在多種模式下運行，包括低壓脈沖直流、磁控管和熱。603也可以配置為具有陽極和兩個磁控管。這允許同時濺射兩個或三個獨立的目標，提供增加和可重現的同質性性能。陽極電源也可調節，讓客戶延長目標壽命。MRC 603包含了一系列安全和保護功能，如安全地線和四個壓力表指示器，確保用戶和資產的安全。此外，該模型的防汙染模塊利用可更換的碳過濾器來保護目標表面免受汙染和氧化。總體來看，603濺射設備是薄膜精密濺射的先進工具。其模塊化設計和廣泛的功能允許各種可定制、經濟高效和高性能的塗層效果。