二手 MRC 603 #9082895 待售

MRC 603是一種用於一系列專業行業的濺射設備。該系統由幾個組件組成，允許金屬膜同時沈積在基板上。其主要部件是研發濺射工具，由三極管磁控管式陰極和陽極組成。陰極上裝有鈦、鉻、鋁合金crucibles。金屬被加熱到濺射溫度，產生被引導到基板上的高能離子。與濺射工具一起，該單元包括蒸發器錐體和真空室。蒸發器錐體用於將一種小的非金屬化合物如矽或氧氣帶入真空室，並將其蒸發到基板上。真空室用於維持低壓環境，以提高沈積速率。603還具有許多增強濺射過程的功能。陽極設計為獨立控制陰極的快慢電源，讓你微調沈積速率。此外，機器還配備了微壓計，可以在室內精確控制壓力。包括射頻發生器，將功率引導到磁控管陰極，從而加快濺射速率。最後，有一個可配置的快門來控制薄膜上的沈積速率。MRC 603通過廣泛的材料選擇和可調參數實現了極好的均勻性和可重復性。這種工具對於大規模生產或在各種不同的基材上獲得專用塗層特別有用。它還以低功耗著稱，使其具有成本效益和環保。所有這些特性使603成為各種行業理想的濺射資產。