二手 MRC 603 #9286006 待售

MRC 603是專門為大規模生產薄膜材料而設計的高性能濺射設備。這種集成腔室非常適合太陽能電池生產、柔性OLED設備和平板顯示器等應用。該系統包括一個緊湊的濺射源、高達160度掃描範圍的電動旋轉目標掃描儀、具有可調功率和可編程設定點的射頻/直流電源、基板加熱器、溫度控制器和氣體分配歧管。高功率射頻/直流電源可實現高沈積速率和均勻的濺射沈積到基板上。電動旋轉目標掃描儀可以精確控制沈積區域，並提供各種可定制的基板尺寸配置。此外，溫度控制器和基板加熱器保證了均勻的溫度分布，從而實現了更高質量、更均勻的膜沈積。603配備了設計精良的真空單元，具有創新的渦輪基礎設計、堅固的氣體密封和高品質的模塊化部件。這允許工藝室壓力範圍為10E-7到1000毫升，高速泵降循環時間。該機還包括可靠的質量流量控制器，確保準確的氣流和壓力調節。直觀的用戶友好觸摸屏菜單工具使編程和調整參數變得容易，並實現配方設置和從多個來源傳輸。遠程診斷功能提供實時監控,並允許流程技術人員跟蹤流程狀況。MRC 603可靠可靠的機械設計符合工業過程中的最高標準安全協議,如EMC法規遵從性。603 Sputtering Asset具有可靠和卓越的性能,專為無故障運行和最小維護而設計,為大型生產運行提供了卓越的價值。