二手 MRC 643 #293758605 待售

MRC 643是一種無功直流磁控管濺射設備，由兩個陰極、兩個平面磁控管、兩個電源和兩個真空室組成，用於處理薄膜沈積在基板上的材料。該系統采用頂載式三軸驅動機構,可實現高材料吞吐量。使用先進的光學自動化工具可以進一步加強這一點。中心室通常用作基板支架，外室包含濺射源。供電直流磁控管濺射是由強磁場產生的，提高了沈積過程的均勻性。磁控管-陰極對放置在一個可以精確控制壓力的腔室中。腔室的受控環境也使過程穩定可靠。MRC 663單元還具有熱電子發射功能，可對腔壁進行濺射前後清洗，使其成為沈積多層薄膜的有效工具。通過沈積過程中停留時間和斜坡時間的編程，可以得到所需的薄膜體積和表面性質。由於其高效、自動化的清洗工藝，該機非常適合半導體制造和薄膜沈積等應用。MRC 663工具還具有壓力控制功能,能夠處理各種材料,包括金屬、合金、氧化物和硫化物。資產中的壓力控制允許更多的控制沈積，從而提高過程的精度和準確性。所有這些特性使得MRC 663模型成為所有薄膜沈積應用的誘人選擇，從純粹的裝飾應用到更復雜的高科技應用。