二手 MRC 643 #83146 待售

MRC 643是一種多室濺射設備，設計用於通過物理氣相沈積（PVD）沈積薄膜。這種先進的沈積系統為各種客戶提供可靠和可重現的PVD工藝。643有六個加工室：三個裝載鎖、一個轉移室、一個裝載室和一個生產室。特殊合金結構，從不銹鋼和陽極氧化鋁，提供了極其耐用和一致的腔壁表面，以支持優越的沈積效果。該裝置還包括一種獨特的有源腔泵送技術，能夠為各種應用提供快速、高效的工藝。這臺惰性超高吸塵機結合了五個獨立的真空泵，如渦輪分子泵和擴散泵，以精確、穩定和安心的方式控制每個過程中的壓力。所有六個腔室分開，可以分別清洗和精確處理，同時保持壓力和真空。載荷室和轉移室也有一個載荷鎖，允許在載荷室被占用的情況下發生不同的過程。生產室配備了多種工藝技術部件。它有一個40 kW的電容耦合RF （13.56 MHz）發電機，旨在快速增加電源而不引起電弧過度。有兩個20英寸的濺射電源用於產生高功率電平，兩個2英寸的電源用於降低供電和濺射清洗。18目標4英寸聚類工具為各種應用提供了靈活性,同時具有多種反應性離子蝕刻（RIE）和物理氣相沈積（PVD）功能。MRC 643的專有設計降低了濺射工具的復雜性。源的對齊以及從單個點控制源的能力簡化了維護和操作過程。整個資產易於集成到現有的生產設施中，有助於提高生產率和效率。綜上所述，643是一種設計用於通過物理氣相沈積（PVD）沈積薄膜的高性能多室濺射模型。擁有六個腔室，一臺40 kW射頻發電機，兩個20英寸濺射電源，兩個反應性離子蝕刻（RIE）和物理氣相沈積（PVD）功能，非常適合多種應用。此外，有源腔泵送技術確保了快速高效的過程，而專有設計簡化了維護和操作程序。這種先進沈積設備的所有這些特點使其具有很高的可靠性和可重復性。