二手 MRC 643 #9227515 待售

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製造商
MRC
模型
643
ID: 9227515
Sputtering system Upgraded to Techware computer.
MRC 643是由Mechanochem Research Corportion(MRC)公司制造的濺射設備。該系統專為研究和工業應用而設計,能夠將各種材料的沈積物濺射到基板上。643單元包括電源、工藝室、目標濺射槍和基板支架。電源用於為目標濺射槍供電,並提供了適應直流和射頻濺射過程的靈活性。該工藝室旨在為各種沈積材料提供最佳濺射條件,確保膜的均勻性和可重復性。目標濺射槍利用較低的初級電子能量,將等離子體損傷及相關的充電效應降至最低。基板支架是可調的,允許更大的控制過程。MRC 643機還配備了機器人工件搬運工具,可重復性和靈活性。它具有用於自動樣品安裝和卸載的高精度機械臂,並具有適應各種基板尺寸的靈活性。該機器人設備提供精確的定位和精確的底物溫度控制,允許最佳膜質量。643型號還配備了先進的多區氣體輸送設備,設計用於保證濺射沈積過程中薄膜密度和輪廓的均勻性。氣體輸送系統提供了同時處理多達四種氣體的靈活性,還結合了壓力控制單元和氣體流量調節機制,以達到最佳性能。此外,MRC 643機為用戶提供了高度優化的工藝環境,采用先進的診斷和控制工具,主動監控濺射工藝參數。內置的計算機資產用於監視模型過程(溫度、壓力和電力)以獲得一致的濺射結果。設備提供交互式圖形用戶界面(GUI),便於操作。總體而言,643是一個可靠且易於使用的濺射系統,對濺射沈積過程提供了良好的過程穩定性和精確的控制。該單元提供人性化操作,適用於工業、研發應用。
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