二手 MRC 662 #9248464 待售

MRC 662是來自Speion Technologies的最先進的高性能濺射設備。它旨在提供一系列金屬和介電材料在大型基板上的自動、精確和高效濺射。它采用模塊化設計,可實現材料、工藝和配置的高度通用性。662的工件室直徑400毫米，高度200毫米。它裝有兩個靜電卡盤，由一臺20 MHz的發電機操作，用於在濺射時固定工件。該腔室可承受高達5.33x10^-7 Torr的真空載荷和150至420°C的工藝溫度。工件腔室的轉盤設計允許在電極在三軸內移動時均勻運動,以實現精確的濺射沈積。MRC 662提供了多種濺射過程，包括磁控管濺射、直流電和射頻濺射以及差分濺射。為了獲得最高的精度和可重復性,濺射系統具有數字厚度控制器和過程監控功能.它還使用戶能夠在一個周期內對最多8個濺射操作進行編程。集成單元還配備了可編程的氣體輸送機，在濺射過程中監視和控制濺射氣體流動。還包括一個自動、無線電頻率驅動的介質去捕獲和基板清潔工具。此外,662還提供了許多安全功能,包括前後聯鎖、緊急停止按鈕和火災警報資產。濺射模型集成了射頻屏蔽，以消除對附近電子的幹擾。總體而言，Speion Technologies的MRC 662濺射設備是在大面積基板上實現金屬和電介質均勻、可重復、精確薄膜的完美工具。通用、自動化的系統在設計時考慮到了安全特性和便利性,使其成為滿足任何高精度濺射需求的理想選擇。