二手 MRC 662 #9265336 待售

MRC 662是一種功能強大、靈活的濺射沈積系統，專為廣泛的研究和工業應用而設計。它是為超高精度薄膜和金屬塗層設計的緊湊真空工藝室。腔室維持在低壓狀態，以避免在濺射過程中沈積物料氧化。該系統采用了將強力離子轟擊與均勻濺射沈積相結合的弧型陰極。這樣可以實現高沈積速率,同時提供出色的塗層均勻性。腔室為多燈，全石英結構，圓形圖案為8 RF天線。它通過可調的工藝存儲模塊提供了工藝一致性,該存儲模塊旨在實現最大的靈活性。可調腔鼓風機保證低二次電子發射和沈積均勻性.該室還具有獨立升降和旋轉的集成可移動目標定位器。這允許配方控制各種目標，都沒有打破真空。其他功能包括用於監控過程參數的集成測量和診斷模塊,以及用於樣品傳輸的全自動機器人噴射器。662還包括一個接入端口，以實現內部和外部電極的制造，並提供出色的激光標記能力。它還與許多氣體控制器兼容，用於廣泛的塗層和表面處理。MRC 662自動濺射沈積系統是各種薄膜沈積應用的最佳選擇。它為研究和工業應用提供了強大而精確的薄膜和金屬塗層。其強大的功能包括可調節的均勻性工藝室、可移動的目標定位器、集成的診斷模塊以及用於樣品傳輸的機器人噴射器。它的靈活性和便利性使它成為任何希望改進塗層工藝的研究人員或制造商的理想選擇。