二手 MRC 693 #9302975 待售

MRC 693是由MRC設計制造的濺射設備。用於半導體器件、集成電路（IC）封裝、光電器件等薄膜應用的研發。這種高性能系統能夠在大面積上沈積均勻性好、步長覆蓋好的薄膜。693的主要部件包括鎢鹵素燈，用於濺射目標的線性照明；射頻電源和濺射槍；氣體分配系統；整體真空單位；可旋轉基板支架；以及真空控制器。燈具和射頻電源可調節，可精確控制存放優質薄膜所需的參數。鎢鹵素燈采用可調節電流控制，為濺射目標均勻照明提供可調節的輻射功率範圍。射頻電源用於創建目標材料濺射到基板上所需的等離子體狀態。MRC 693的一個獨特特點是配氣機。它使用專利氣體噴射器控制濺射過程中使用的氣體；這保證了在大型基板上均勻的濺射速率。氣體分配工具還允許良好的壓力範圍，這是保持高質量膜沈積的關鍵。此外，該機組還配備了集成真空資產，使用旋轉葉片真空泵實現2毫巴或以下的底壓。693是一種多功能濺射模型,非常適合多種薄膜應用。它可以在大面積上沈積具有良好臺階覆蓋率的薄膜，並提供極好的可重復性。此外，MRC 693提供了出色的均勻性，這在許多應用中都很重要。其可調參數和可調氣體分配設備也使其易於在一系列不同的應用中使用。