二手 MRC 822 #293604301 待售

MRC 822是一種用於將材料濺射到基板上的高性能沈積設備。它是一種先進的設備，設計用於半導體工業，允許沈積高產率的正負電荷載流子。該系統包含四把主動濺射槍，可以配置為啟用多層沈積。該室由不銹鋼制成，可提供高達1.0 x 10-6 torr的真空密封外殼。其方向為水平，工作直徑為300毫米。它使用易於使用的圖形用戶界面（GUI）進行控制,並具有直觀的導航單元。機器可以手動、半自動和全自動模式操作，使用戶能夠在需要時配置和控制沈積參數。基板的位置是可調的，可以圍繞x和y軸移動。可以在沈積過程中監測被濺射材料的溫度，並將其精確地保持在預定範圍內。822在高壓差速器下運行，最大壓力為1.0 torr。為確保物料均勻沈積到基板上，將濺射槍配置成一定角度，形成均勻的濺射環境。這有助於降低由於充電效應而導致基板變形的風險。MRC 822提供了可靠的操作和優異的濺射產率，適用於將材料濺射沈積到矽片、基板以及其他工程和科學材料上。它是先進半導體器件沈積的理想選擇，如微電子、光伏和微光學。