二手 MRC 8620 #293638700 待售

MRC 8620是為高吞吐量應用程序而構建的一種全面而強大的濺射工具。這種多用途設備包括幾個濺射源，能夠在大小基板上生產高質量的薄膜。該系統具有一整套等離子體過程能量以及硬件和軟件組件,旨在最大程度地提高生產率和過程可重復性。8620是一種全自動濺射裝置，由一個低矮的模塊化濺射室、寬敞的負載鎖定區域以及最多四個獨立操作的直流或射頻濺射源組成。每個源可以同時容納矩形和圓形磁控管，總共可容納八個磁體。鐵磁基板可以使用多種材料（包括金屬、陶瓷、聚合物和絕緣體）進行陣列設計，采用基於光學的濺射、熱蒸發或多目標濺射。該室包括一臺原位擦膜機，在多目標濺射操作中有效地將薄膜從目標轉移到目標。先進的刀具控制器提供對所有濺射參數的控制，包括溫度、壓力、泵速、氣流、偏置電壓、濺射電壓等等。除了通過圖形界面進行實時過程監控外，資產還配備了多種保護功能，使操作員能夠例行設置所需的沈積參數，而不會損害薄膜的均勻性或損壞基板。MRC 8620的大型晶圓載荷鎖室可容納多達8個6「/8」基板或多達4個8「/12」基板同時裝卸。該模型還配備了室內旋轉階段，允許在整個平面表面上進行均勻處理。總體而言,8620的多功能濺射平臺為用戶提供了覆蓋範圍廣泛的應用的靈活性,從薄膜太陽能電池到觸摸屏和MEMS設備。結合其可靠和高效的設計,此設備可以成為任何以生產力為中心的實驗室的寶貴資產。