二手 MRC 8667-A #9060240 待售

MRC 8667-A是一種用於各種材料沈積的最先進的濺射設備（SPS）。該系統具有低溫、低電壓、低運行成本等特點，可實現更大的控制和更高的材料沈積產量。它配備了兩個磁控管，使其可以同時加工平面和非平面基板。這兩個獨立的磁控管是獨立操作或組合操作，使得廣泛的塗層結構和工藝。該單元由兩套獨立電源、一個真空室和一個基站組成。設計方便維護和操作。基站提供全方位的軟件和硬件組件，用於控制機器和監控沈積過程。電源提供對基板沈積參數的精確控制，包括電流、電壓、基板溫度和基板屏蔽。高壓低壓供電工具允許對每個磁控管進行獨立控制。資產的真空室由兩個並行處理器組成，一個高頻發電機（HFG）和一個高功率發電機（HPG）。這兩臺發電機可實現更快、更高效的沈積過程。HFG產生短時高頻爆發，而HPG產生低頻持續電壓。兩者都在低壓下在真空室中產生等離子體，以實現更好的過程控制和均勻性。對於沈積，8667-A具有先進的真空模型。將濺射目標安裝在旋轉平臺上，在該平臺上可以調整其角度和位置以獲得最佳材料供應。此外,直流模型包括一個旋轉基板支架.這樣可以優化基板表面的材料供應，提高沈積過程的均勻性和可重復性。該設備還具有自動校準系統等先進功能，可監控工藝條件，可用於調節沈積膜內的膜厚度、電導和應力。這有助於使用直接或遠程監控來確保影片的最高質量。該單元還有一個目標映射機，這有助於確保均勻膜厚度和分布在大基板。該工具非常適合需要低溫和低壓的應用程序,並且允許在一次運行中執行多個進程。集成控制資產允許實時模型控制,並允許設備以手動或自動模式操作。它還允許高效的數據存儲和檢索。總體而言，MRC 8667-A是一種功能強大且用途廣泛的濺射設備。它具有提高沈積質量和重復性的先進特點，對沈積過程提供了更大的控制。該系統操作方便，運行成本低，是滿足各種沈積需求的理想選擇。