二手 MRC 8667 #293655700 待售

MRC 8667是一種緊湊的射頻磁控管濺射設備，用於生產精確的薄膜塗層。它專為在直流（DC）供電環境中運行而設計,具有多種功能,可提高應用程序的質量和統一性。8667適用於多種類型的應用，從通用的薄膜塗層，到專門的納米級沈積，甚至是與硬質塗層和保護層相關的高級塗層應用。它旨在處理具有挑戰性的底物，如金剛石狀碳（DLC）和昂貴的低k介電膜。MRC 8667由一個帶有密封鐘罩的工藝室和一個最多可支撐五個不同陰極的能力以及各種基板和其他必要設備組成。最大工作壓力高達10托，底溫為-10°C。溫度由PID控制器控制，過程氣體通過質量流控制器（MFC）引入。腔室的其他特點包括石英觀測窗口、沖洗端口和靜電卡盤，用於在加工過程中固定基板。該系統還包括一個集成射頻（RF）電源，能夠濺射高達3 kW，提供比較大面積基板質量更高的均勻塗層。電源還支持不同沈積過程的運行，附加了磁控管旋轉和脈沖操作等選項。此類選項提供了選擇性可調節的功率水平,以更好地控制膠片的質量和結構。它還有一個數字監測單元，用於監測工藝條件，並提供每個塗層作業所用參數的可追蹤性。8667還具有先進的診斷能力，如具有原位診斷功能的MRC Resolve™測量機，提供了在工藝室運行條件下沈積的薄膜的高精度測量。這有助於研究人員實時測量底物，同時研究沈積條件和薄膜的性質。此外,此工具還能夠控制操作配置文件,並提供不同處理步驟之間的延遲時間。MRC 8667濺射資產為薄膜塗料的生產提供了諸多優勢。它提供了緊湊的模塊化設計,可在工作流程中快速高效地進行安裝。該模型易於操作，有幾種控制工藝的選擇，使得薄膜具有很高的均勻性和質量。此外，它因其可追蹤性、車載診斷和低汙染而受到重視，因此適合各種應用。