二手 MRC 8667 #9128020 待售

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製造商
MRC
模型
8667
ID: 9128020
Sputtering system Configured for 3 targets Co-sputtering ION/TC gauge Etch option CTI 8 cryopump and compressor LH D30A dual stage vacuum pump.
MRC 8667是為工業和研究應用而設計的高端濺射設備。該系統設計用於使用磁控管濺射工藝對各種材料進行濺射。這一過程包括利用磁場將薄膜均勻地沈積到目標材料上,同時保持精確的厚度控制。該單元提供兩個標準基板支架,每個支架的直徑範圍可達8英寸。在較大的基板上使用可選的三頭可獲得較高的沈積速率塗層。8667還包括一個可變電源和一個精確控制沈積過程的計時器。可變電源允許電壓和電流的變化,而計時器設置塗層過程的持續時間。該機采用獨特的磁線圈設計,在目標材料周圍產生軸向磁場。這會在整個基板表面產生更均勻的濺射速率,從而使薄膜均勻。在此過程中,目標材料由風冷頭固定到位,有助於防止沈積過程中的熱損壞。MRC 8667有一個車載觸摸屏顯示器,允許直接控制濺射過程而無需計算機。顯示器顯示包括工件溫度和基板溫度在內的信息,允許用戶在過程發生時監視該過程。該工具帶有一個全面的安全資產,在處理設備的同時保護用戶。這包括緊急停止按鈕、緊急排氣模型和鎖定設備。還包括用於精確厚度監測的自動流量校準和參數感測。為了獲得最大的可用性,系統有多個輸入/輸出端口,可用於添加控制系統和監視濺射過程。其中包括一個以太網端口,它允許直接控制和記錄沈積參數及其他信息。8667單元是為工業和研究應用而設計的高端濺射機。由於其獨特的濺射頭和磁線圈設計,該工具具有精確的厚度控制和均勻的薄膜沈積。除了安全功能外,該資產還配備以太網連接、自動流校準和各種顯示器功能,確保不斷的反饋和最大的可用性。
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