二手 MRC 8667 #9276506 待售

MRC 8667是用於材料沈積和表面處理的最先進的濺射設備。它配備了雙可旋轉濾波器通量和模塊化電源。主要由一組濺射源、真空泵送系統、疏散壓力測量單元和機器控制器組成。濺射源由弧室、石墨支架和靜電柵格組成。弧室容納濺射目標，並在疏散環境中密封，以確保持續高真空。石墨支架和靜電柵極大地改善了電弧室的均勻性和能量管理。真空抽水工具確保壓力持續低到足以發生濺射和沈積。由旋轉葉片泵、渦旋泵、離子泵、渦輪泵等一系列泵組成。這些泵是串聯的，並根據需要提供適當的疏散參數。利用排空和壓力測量資產精確測量弧室內的壓力，並相應調整泵送模型。濺射設備使用控制器操作,該控制器管理目標選擇、電流、溫度和壓力等所有參數。設置參數以確保所需的材料沈積到基板上。控制器還對所有參數進行連續監控，以保證一個始終如一的高質量過程。整個系統配備了緊急停機、限流、液壓制動等安全功能。8667是一種多功能濺射裝置，能夠以高質量、高精度沈積多種材料。它具有廣泛的功能和能力，使得它適合從真空薄膜沈積到半導體和電子加工等多種應用。