二手 MRC 902 #293631817 待售

MRC 902是一種用於將薄膜沈積到基板上的濺射設備。能夠生產具有高度均勻性和控制性的高精度薄膜。該系統包括離子源、真空容器、電源和樣品支架。902的離子源是一種高電流、低排放輝光放電（GD）源。這種光源能夠產生能量範圍廣泛的光束，允許使用者量身定制光束的能量，以產生所需的薄膜厚度、組成和形態特性。GD源也有一個可調的自偏置，允許使用者在濺射過程中控制離子電流。MRC 902中的真空容器是具有調壓單元的不銹鋼腔室。這樣可以確保在受控真空環境中進行沈積。該容器裝有幾個用於濺射所需氣體的入口/出口端口。這些端口的設計便於安裝和維護。902的電源是高壓直流（DC）發電機。該發電機能夠產生0-250 A之間的電流，允許用戶為特定應用量身定制輸出功率。該機還包括一個感應渦流監測器，用於不斷監測基板溫度。最後，MRC 902包括一個高精度的樣品支架。該支架允許用戶在真空下精確終止基板，確保沈積過程中性能良好。樣品支架也可以調整，以控制基板的角度位置，並適應各種基板尺寸。綜上所述，902濺射工具能夠生產出具有出色均勻性和控制性的高精度薄膜。資產包括離子源、真空容器、電源、樣品持有者和其他功能，使用戶能夠為特定應用量身定制沈積過程。