二手 MRC 902 #9400745 待售

製造商
MRC
模型
902
ID: 9400745
In-line sputtering system Missing parts: Elevator pallet stand Pallet carrier Chamber shields (2) Cathodes DC Power supply Convectron gauges for foreline and chamber Miscellaneous port adapters and switches.
MRC 902濺射設備可用於各種需要沈積薄膜和納米級塗層的研究應用。它是一個大面積的基底沈積系統,能夠處理大小不超過600x600mm的基底。902有環境毯室;內部襯有空氣消聲雙層結構,在濺射過程中最大限度地減少聲音和消除振動。此外,所有腔室硬件都作為一個完整的組件進行密封,並受到全方位安全門的進一步保護。MRC 902具有可調的平面磁性和射頻內部線圈,提供卓越的濺射均勻性和質量層沈積。濺射目標定位在板旋轉軸的中心,並被氙氣包圍,使得有多個反應性濺射過程成為可能。902還具有種類繁多的濺射選擇的陰極與可更換段和可調支撐桿,允許定制曲線和沈積剖面。MRC 902還配備了自動批處理接口,可以讓用戶輕松編程沈積參數。此外,它還支持計算機控制的配方,可以重復這些配方以產生一致且可重復的結果。ABF還包括一個內置計時器,允許精確的時間和精確的氣流控制,允許對沈積條件進行精確的控制。902提供了一個外部控制的掃描多軸運動和基板旋轉,以確保精確的基板沈積。它還配備了沈積後源疏散單元,具有可定制的疏散時間,可以改變以適應不同的底物和薄膜。總之,MRC 902是一種先進的濺射機,可用於將高質量的薄膜和層沈積在大小基板上。它可靠、高效,對沈積參數和基板定位提供精確控制。902提供出色的濺射均勻性、聲學效果、減振效果,極易操作。
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