二手 MRC 902M #9199362 待售

MRC 902M是一種全自動濺射設備，其設計具有精確控制濺射沈積以及卓越的維護和安全特性。它具有三個高度可調磁控管源的平行布置。其寬大的腔室、廣泛的工藝靈活性、清潔度和可及性使其適合各種材料的研發，包括金屬、陶瓷或復合材料。902M有一個帶有兩個直徑為150毫米（6英寸）的陰極和一個直徑為100毫米（4英寸）的陰極的工藝室。每一個對於磁鐵的高度、入射角、旋轉和磁場強度都是獨立調節的，可以容納各種材料和不同厚度的薄膜。磁體結構是可調整的，以優化存在角均勻膜覆蓋和脈沖控制沈積速率。該工藝室的設計包括一個超凈負載鎖、雙疏散閥、鎮流器瓶以及保護內部免受汙染物汙染的腔室門。5口排氣系統提供快速抽水和高壓均勻性。該單元配備了強大的機器操作控制控制臺，允許用戶配置復雜的流程，在工具運行時調整參數，實時監控資產的多個方面。它具有用戶友好的界面和強大的在線監控、報警和診斷功能。此外,可編程PID控制器允許使用用戶定義的設置進行自動操作。MRC 902M是一種多功能的濺射模型,具有卓越的安全特性.這些特性包括高溫報警器、防止高壓/低壓誤差的壓力控制聯鎖以及處理熱報警器。高效過濾設備由99.97%高效HEPA過濾器、可更換碳過濾器和預過濾器組成。902M是一個通用可靠的濺射系統，可以精確控制材料的沈積。其強大的功能和易於調節的設置使得該單元適合廣泛的研發應用。