二手 MRC 903 #9241895 待售

MRC 903是Advanced Energy開發的濺射設備。它是物理氣相沈積（PVD）過程中常用的高性能系統。設計方便精確塗層和薄膜沈積。903具有單室設計。腔室由鋁構成，采用高精度固定磁控管直流或射頻電源供電。電源由數字控制，可輸送20W至40千瓦功率。該裝置能夠用多種材料進行精密塗層和薄膜沈積，包括金屬、電介質、有機化合物和稀土。濺射機具有各種可調參數，如氣體壓力、壓力和溫度控制、目標材料和操控、偏置電壓，對於均勻的薄膜厚度和均勻的沈積。該工具還配備了能夠達到300 °C的多區域基板基板加熱器。這使得資產能夠在不同的溫度下運作，允許更深的滲透到基板中。MRC 903對目標物料的精確控制和處理是由雙源機制（DSM）實現的。它旨在促進在寬闊的基質區域內高速率沈積厚膜變化。這是通過允許部署多個獨立的源來實現的,各個源可以沿著三個軸移動。903還提供了一個獨特的均勻沈積跨寬基板與聚焦二極管構造。它具有獨特的三軸映射模型，以提高沈積在整個操作範圍內的熟練程度。這對於在具有細線特征的深溝或凹槽中精確塗層任務非常有用。該設備還配備了先進的基板目標定位系統，以確保在多個基板上均勻沈積。這種可調臂單元允許精確調整，並設計用於需要基板由四個角安裝的應用。MRC 903是一款高效、可靠、用戶友好的濺射機，非常適合多種應用。它是一個強大的工具，能夠精確塗層和薄膜沈積，它提供了優越的膜均勻性和可重復性跨越寬基板區域。